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簡要描述:分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的分析。該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長期使用。
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儀器簡介:
HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長期使用。
主要特點:
1、鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命
2、抗污染離子源護(hù)罩
3、雙法拉第/ channelplate電子倍增器
HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀技術(shù)規(guī)格:
·質(zhì)量數(shù)范圍:1~300 amu
·掃描速度:100amu/s
·小掃描步階:0.01amu
·靈敏度:0.1 ppm~1ppm
·穩(wěn)定性:24h以上,峰高變化小于±0.5%
·小檢測分壓:2 x 10-13 mbar
·大工作壓力:1 x 10-4 mbar
上一產(chǎn)品:PTR-TOF 6000 X2質(zhì)子傳遞反應(yīng)飛行時間質(zhì)譜儀
下一產(chǎn)品:DECRA / ExQ RM緊湊型在線質(zhì)譜儀
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